辐射敏感树脂组合物

摘要

公开了含有含酸不稳定基的树脂和光致酸产生剂的辐射敏感树脂组合物。该树脂具有通式(1)的结构，其中R¹表示氢原子、一价酸不稳定基、不带有酸不稳定基的1-6碳烷基，或不带有酸不稳定基的2-7碳烷羰基，X¹表示带有1-4个碳原子的直链的或支化氟化烷基，R²表示氢原子、带有1-10个碳原子的直链的或支化烷基，或带有1-10个碳原子的直链的或支化氟化烷基。该树脂组合物表现出高辐照穿透率、高敏感度、分辨率和图案形状，可用作高产率半导体制造中的化学增强型抗蚀剂。

主权项

1.一种辐射敏感树脂组合物，该组合物包含(A)具有以下通式(1)表示的结构的含有酸不稳定基的树脂和(B)光致酸产生剂及(C)作为酸扩散控制剂的含氮有机化合物：其中R¹表示氢原子、一价酸不稳定基、不带有酸不稳定基的1-6碳烷基，或不带有酸不稳定基的2-7碳烷羰基，X¹表示带有1-4个碳原子的直链的或支化氟化烷基，R²表示氢原子、带有1-10个碳原子的直链的或支化烷基，或带有1-10个碳原子的直链的或支化氟化烷基。