| 主权项 |
1.一种溅镀机之阀门控制装置改良,其系包括: 一阀门本体,该阀门本体系设于一溅镀机之两腔室 间,该阀门本体设有一通孔,该通孔一侧之内周缘 设有抵压面;其中该阀门本体外侧设有一动力源; 一连接杆,该连接杆之两端,分别朝外延伸设偏心 轴,该偏心轴之直径小于连接杆,该两端偏心轴可 枢设于阀门两端,并使一端之偏心轴可穿出通孔与 动力源形连结,而能由动力源驱动连接杆转动;其 中该连接杆上固设有数挡板; 一阀门,该阀门设于挡板与抵压面间,且该阀门相 对于抵压面之一面周缘,设有一O型环,使得该阀门 被偏心驱动时,阀门及O型环可确实压抵于抵压面 密合无空隙。 2.如申请专利范围第1项所述之溅镀机之阀门控制 装置改良,其中,该阀门本体位于通孔之两端分别 形成有内壁面,该两内壁面上部分别设有一轴孔, 而通孔两侧可连通两腔室; 其中该阀门本体外侧,相对于通孔之内壁面位置设 有一动力源,该动力源设有一连通轴孔之穿孔,该 穿孔设有一键槽; 其中,该穿出通孔之偏心轴具有一键,并使该键可 与动力源之键槽相结合,而能由动力源驱使连接杆 转动。 3.如申请专利范围第2项所述之溅镀机之阀门控制 装置改良,其中,偏心轴与轴孔间设有轴承与防漏 环。 4.如申请专利范围第1项所述之溅镀机之阀门控制 装置改良,其中,各挡板系呈等间隔之设置。 5.如申请专利范围第1项所述之溅镀机之阀门控制 装置改良,其中,该动力源可为一气压缸。 图式简单说明: 第一图系本创作之立体外观示意图。 第二图系本创作之立体分解示意图。 第三图系本创作之连接杆与动力源连结之示意图 。 第四图系本创作阀门密合之剖面示意图。 第五图系本创作连接杆与偏心杆之上视示意图。 第六图系本创作一端偏心轴之示意图。 第七图系本创作另一端偏心轴示意图。 |
