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发明名称 Dielectric film, Method of manufacturing the dielectric film and method of manufacturing capacitor using the same
摘要
申请公布号 KR100809685(B1) 申请公布日期 2008.03.06
申请号 KR20050085209 申请日期 2005.09.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/8242 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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