| 发明名称 | 获得远紫外辐射的方法和辐射源及用该辐射源的光刻设备 | ||
| 摘要 | 根据本发明，至少用一个固体靶(28)，通过与聚焦在靶的第1面(30)的激光束的彼此作用，该靶发射远紫辐射。该靶从对置面37出发可以发射辐射部分，并且这部分被收集和传输。 | ||
| 申请公布号 | CN100373993C | 申请公布日期 | 2008.03.05 |
| 申请号 | CN00815673.5 | 申请日期 | 2000.11.14 |
| 申请人 | 法国原子能委员会 | 发明人 | D·巴博诺;R·马莫雷特;L·博内 |
| 分类号 | H05G2/00(2006.01) | 主分类号 | H05G2/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 王勇;张志醒 |
| 主权项 | 1.一种获得远紫外辐射的方法，其中，至少利用具有第1面和第2面的一个固体靶(28，42)，该靶在激光束聚焦在靶的第1面(30)上时，通过与激光束(34)彼此作用能发射远紫外辐射，所述方法的特征在于，靶(28，42)包含通过与激光束彼此作用能发射远紫外辐射的材料；以及靶的厚度在0.05μm到5μm的范围，并且靶能从所述第2面(37)各向异性地发射远紫外辐射部分(36)，该远紫外辐射部分被收集和传输，以便利用这一部分。 | ||
| 地址 | 法国巴黎 | ||