发明名称 高温阳极接合装置
摘要 一种阳极黏接装置,其包含:第一黏接板构件,其可操作来衔接第一材料片状物,以及提供至少一项控制之加热,电压,以及冷却;第二黏接板构件,其可操作来衔接第二材料片状物,以及提供至少一项控制之加热,电压,以及冷却;压力构件可操作来耦合至第一及第二黏接板构件以及可操作来促使第一及第二黏接板构件朝向彼此以沿着第一及第二材料片状物各别表面使其彼此靠在一起达成受控制之压力;控制单元可操作来对第一及第二黏接板构件以及压力构件产生控制讯号以提供加热,电压,以及压力分布足以在第一及第二材料片状物间达成阳极黏接。
申请公布号 TW200811992 申请公布日期 2008.03.01
申请号 TW096114186 申请日期 2007.04.20
申请人 康宁公司 发明人 雷盟卡里卡德;詹约塞克帖罗;亚历山大考他;威廉爱华洛克;詹克力多福汤姆士
分类号 H01L21/76(2006.01) 主分类号 H01L21/76(2006.01)
代理机构 代理人 吴洛杰
主权项
地址 美国