粉末状有机材料之蒸镀装置及方法

摘要

本发明系有关一种在基板(17)表面涂布有机材料之方法，该有机材料为粉末状材料(10)，其被存放在一储存容器(1)中，该储存容器内部之温度低于有机材料分子之分解温度，有机材料由该处被计量输送至一蒸发装置(2)中，并在该处被输入热而蒸发。为改良该方法及其装置，尤其是提高蒸发速率，本发明使粉末状材料(10)被一载气携入蒸发装置(2)中，并以加热载气而提供其热。