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发明名称
矽甲烷输送及处理系统及矽甲烷输送及处理方法
摘要
一种矽甲烷输送及处理系统,包括一矽甲烷储存容器、一输送管路、一燃烧室、一旁通管路及一风车。矽甲烷储存容器系储存有矽甲烷气体。输送管路系连接于矽甲烷储存容器,用以输送矽甲烷气体。燃烧室具有一入口及一出口,入口系相对于出口。旁通管路系连接于输送管路与燃烧室之入口之间,用以将输送管路中之矽甲烷气体输送至燃烧室之中。风车系设置于燃烧室之出口上,用以从燃烧室之入口抽取空气至燃烧室之中。燃烧室之入口处之空气流动方向系与由旁通管路所输送至燃烧室之入口处之矽甲烷气体之流动方向同流。
申请公布号
TW200811911
申请公布日期
2008.03.01
申请号
TW095131338
申请日期
2006.08.25
申请人
财团法人工业技术研究院;崑山科技大学 KUN SHAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY 台南县永康市大湾路949号
发明人
李崑池;林瑞玉;王世煌
分类号
H01L21/00(2006.01)
主分类号
H01L21/00(2006.01)
代理机构
代理人
洪澄文;颜锦顺
主权项
地址
新竹县竹东镇中兴路4段195号
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