具缓冲机构的基板处理装置以及基板移送装置

摘要

一种用于在反应腔室中加载以及卸载基板之基板移送装置，其包含：臂，其具有可在直线方向上侧向移动之末端；以及端接器，其用于在反应腔室中加载以及卸载基板，其包含下部端接器以及上部端接器。所述下部端接器或所述上部端接器中之一者可移动地耦接至所述臂以与所述臂相接，且另一端接器固定至所述可移动耦接之端接器。所述固定之端接器固定至所述可移动耦接之端接器。