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发明名称 PARTICULATE PREVENTION IN ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号 EP1891658(A2) 申请公布日期 2008.02.27
申请号 EP20060760675 申请日期 2006.06.02
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 VANDERPOT, JOHN;BERRIAN, DONALD
分类号 H01J37/08;H01J37/304;H01J37/317 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
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