高灵敏制镀多层光学薄膜之监控方法

摘要

一种高灵敏制镀多层光学薄膜之监控方法，可经由一规则明确找出具有最高灵敏度之监控波长的方法，使监控图在切点附近之穿透率随厚度的变化最明显。然后以监控图上之穿透率(或反射率)之转折点推算出对中心波长的误差补偿厚度，以此重新推判切点。最末层以离子蚀刻方式进行厚度之修正，使成品之光谱不偏移，例如带通滤光片、带止滤光片之中心波长，截止滤光片穿透率50％之波长位置，与理论设计值一致。