发明名称 抗反射涂料组合物
摘要 本发明揭示一种具有较少除气的抗反射涂料组合物。
申请公布号 TW200809416 申请公布日期 2008.02.16
申请号 TW096122917 申请日期 2007.06.25
申请人 AZ电子材料股份有限公司 发明人 约瑟夫E 欧伯兰德
分类号 G03F7/11(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 G03F7/11(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 美国