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发明名称
抗反射涂料组合物
摘要
本发明揭示一种具有较少除气的抗反射涂料组合物。
申请公布号
TW200809416
申请公布日期
2008.02.16
申请号
TW096122917
申请日期
2007.06.25
申请人
AZ电子材料股份有限公司
发明人
约瑟夫E 欧伯兰德
分类号
G03F7/11(2006.01);H01L21/027(2006.01)
主分类号
G03F7/11(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
美国
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