| 摘要 |
本发明之课题为不需用来支持工作件载置部的石定盘，于平台确保位置检测精确度。平台装置10的Y平台18系具有：将导引部14A、14B的上方横架于X方向的横架部30；以及与横架部30的两端结合，沿着导引部14A、14B移动的一对滑动器32A、32B。滑动器32A、32B系具有：以与导引部14的左右侧面及上面相对向的方式，形成逆U字状，与导引部14A、14B的左右侧面相对向的Y方向静压空气轴承34、35；以及在Z方向相对向的Z方向静压空气轴承36。又，于导引部14的左右侧面设置有一对线性刻度22A、22B。第1线性刻度22A系测定与导引部14A的左侧面相对之Y平台18的移动位置。又，第2线性刻度22B系用来测定与和配设有第1线性刻度22A的导引部14A之左侧面平行的相反侧之右侧面相对的Y平台18之移动位置。 |
