电浆处理装置

摘要

本发明系提供一种电浆处理装置，其系就算是在处理容器的大型化或是高频电源的更进一步高频化的状况下，电浆的面内均一性亦高，并且容易温度控制。于电浆处理装置的处理容器2及由依覆盖该处理容器2的壁部之方式而设置之导电体所成之内壁板6之间，连接阻抗调整部60，并将由身为阴极电极之下部电极5起，经由电浆、内壁板6及处理容器2的壁部，而到达身为接地筐体的匹配箱42为止之阻抗值，设为相较于由下部电极5起，经由电浆、身为阳极电极之上部电极3及处理容器2，而到达身为接地筐体的匹配箱42为止之阻抗值为大。