| 摘要 |
一种用于驱动并定位物体(34)的驱动器组合(226)，该驱动器组合(226)包含驱动器(328)，该驱动器(328)界定流体通道(370)及具有通道入口(374)及通道出口(376)的循环系统(330)的范围。该循环系统(330)将循环流体(378)引导进入该流体通道(370)中。该循环系统(330)可包含与该流体通道(370)流体连通的液体／气体分离器(384)。这样的设计可使液体(378A)跟气体(378B)的管线分别达到最佳化效果。此外，该循环系统(330)可包含压力控制装置(388)，控制该流体通道(370)中至少一部份的循环流体(378)的压力。这样的设计可使该压力控制装置(388)控制该流体通道(370)附近的循环流体(378)压力，使该通道出口处(376)的循环流体(378)的温度大约等同于该通道入口(374)处的循环流体(378)温度。此外，该循环系统(930)可包含泵浦组合(980)以将循环流体(978)引导进入通道入口(974)，(996)以精确控制该通道入口(974)附近的循环流体及包含压力控制装置(978)状态。这样的设计可在不限制该循环流体(978)流量的情况下精确控制该通道入口(974)处的循环流体(978)相态。 |
