大功率热梯度化学气相渗透工艺系统监控装置及监控方法

摘要

本发明公开了一种大功率热梯度化学气相渗透工艺系统监控装置，温度传感器、压力传感器、元件损坏检测器、瓦斯信号检测器以及流量计的所采集的信号传输给监控计算机，监控计算机同时输出两路信号，一路到显示器，另一路通过D/O转换器与驱动放大电路分别控制脉冲封锁继电器和中间继电器，进而控制脉冲触发电路和真空开关继电器，使得整流电路停止工作或高压开关断开。还公开了上述装置的监控方法，监控计算机采集温度、压力等信号与设定的标准值进行比较，比较结果为正常时，循环采集比较，直至沉积工艺结束；比较结果不正常时，则关断10KV高压电路，或者使整流电路停止工作并报警。本发明采用数据库进行管理，实现了大功率TCVI工艺系统状态的自动检测。

主权项

1.一种大功率热梯度化学气相渗透工艺系统监控装置，包括脉冲触发电路(19)、整流电路(22)、调压变压器(23)、高压开关(24)，其特征在于：还包括信号调理器(10)、A/D转换器(11)、监控计算机(12)、显示器(13)、D/O转换器(14)、驱动放大电路(15)、脉冲封锁继电器(16)、中间继电器(17)、真空开关继电器(21)；温度传感器(5)、压力传感器(6)、元件损坏检测器(7)、瓦斯信号检测器(8)以及流量计(9)的所采集的信号，经信号调理器(10)和A/D转换器(11)传输给监控计算机(12)，监控计算机(12)同时输出两路信号，一路到显示器(13)，另一路通过D/O转换器(14)与驱动放大电路(15)分别控制脉冲封锁继电器(16)和中间继电器(17)，进而控制脉冲触发电路(19)和真空开关继电器(21)，使得整流电路(22)停止工作或高压开关(24)断开。