发明名称 | 真空加工设备 | ||
摘要 | 在此公开了一种真空加工设备,用于在其中建立真空环境之后对基板执行所需工艺。更具体而言,所述真空加工设备包括真空室,该真空室分为室体和上盖。所述上盖配置成容易从室体打开以及关闭到室体。 | ||
申请公布号 | CN101123177A | 申请公布日期 | 2008.02.13 |
申请号 | CN200710147291.7 | 申请日期 | 2006.02.05 |
申请人 | 爱德牌工程有限公司 | 发明人 | 李荣钟;崔浚泳;孙亨圭;李祯彬;金敬勋;金炯寿;韩明宇 |
分类号 | H01L21/00(2006.01);B01J3/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 蔡洪贵 |
主权项 | 1.一种加工设备,包括:室体,其具有用于使基板能够进行装载和卸载的闸式阀;以及可分离地设置在所述室体上的上盖,所述加工设备进一步包括:上盖提升装置,其可分离地设置在所述上盖上以竖直移动所述上盖;以及水平驱动单元,其设置在所述上盖的相对侧,并且适于在所述上盖由所述上盖提升装置提升之后来水平移动所述上盖。 | ||
地址 | 韩国京畿道 |