真空泵

摘要

一种差动地泵吸的质谱计系统，包括一台有多个压力室的质谱计、一个附接于其上的真空泵和一个连接于该泵出口的前级泵；该真空泵包括至少三个泵入口、一第一泵吸区、一在第一泵吸区下游的第二泵吸区、一在第二泵吸区下游的第三泵吸区、一个从一压力相当小的第一压力室来的出口、一个用于该质谱计的压力中等的第二压力室的出口和一个用于该质谱计的压力最高的第三压力室的出口；该第一压力室连接在第一泵入口上，通过该第一泵入口的流体能从第一室进入该泵而向着一个泵出口通过第一、第二、第三泵吸区，该第二压力室连接在第二泵入口上，通过该第二泵入口的流体能进入该泵而在所述各区中只朝该泵出口的方向只通过第二和第三泵吸区，该第三压力室连接在第三泵入口上，通过该第三泵入口的流体能进入该泵而在所述各区中朝该泵出口的方向只通过第三泵吸区的至少一部分；该前级泵使得在使用中从质谱计泵吸的流体质量的至少99％通过该真空泵和前级泵而抽走。

主权项

1.一种差动泵吸的真空系统，包括具有至少第一和第二室的设备和一个真空泵，该真空泵用于从这些室差动地泵吸流体，从而在第一室中产生大于0.1mbar的压力和在第二室中产生比第一压力低的第二压力，该泵包括各自用于接受来自一相应的压力室的流体的至少第一和第二泵入口和多个相对于这些入口安置的泵吸级，使得从该第一室接受的流体通过比来自第二室的流体更少的泵吸级，这些入口被附接在该设备上，使得从该设备泵吸的流体质量的至少99％通过该泵的至少一个泵吸级。