发明名称 Hard pellicle for improving the resolution
摘要
申请公布号 KR100801728(B1) 申请公布日期 2008.02.11
申请号 KR20050060601 申请日期 2005.07.06
申请人 发明人
分类号 G03F1/62;G03F1/64 主分类号 G03F1/62
代理机构 代理人
主权项
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