支撑销

摘要

本发明之课题在于提供一种，可抵消载置台（加热板）的热膨胀之支撑销。本发明之解决手段为，于加热板2未产生热膨胀时，上部支撑销12a及下部支撑销12b的轴为一致，但于加热板2产生热膨胀使贯通孔11的位置移动时，上部支撑销12a亦与贯通孔11一同移动，而使上部支撑销12a及下部支撑销12b的轴变得不一致。然而，由于上部支撑销12a的下端与下部支撑销12b的上端仍为接触着，因此支撑销12的动作可正常进行。