蚀刻液喷射装置及蚀刻方法

摘要

本发明涉及一种用于对水平放置基板蚀刻之蚀刻液喷射装置及一种蚀刻方法。该蚀刻液喷射装置包括复数根喷管、复数个安装于该喷管上之喷嘴及增压装置，该增压装置增加该喷管中之喷射压力使得用于向待蚀刻基板部分喷射蚀刻液之喷嘴喷射压力高于向待蚀刻基板边缘部分喷射蚀刻液之喷嘴之喷射压力。该蚀刻液喷射装置可克服水坑效应，从而可提基板之蚀刻均匀性，进而提高基板之蚀刻精度。