| 主权项 |
1.一种制程气体泄漏源侦测系统,其适用于一制造 厂之制程控制,包括: 一资料伺服器; 一开放光径式FTIR侦测系统,其设置于上述制造厂 之回风处,用以侦测泄漏气体,并且藉由一通讯网 路将侦测所得之气体成份资讯传送至上述资料伺 服器; 一多采样孔与抽气式FTIR侦测系统,其设置于上述 制造厂内,用以利用设置于上述制造厂内之不同区 域的管线收集并侦测泄漏气体,并且藉由上述通讯 网路将侦测所得之气体成份资讯传送至上述资料 伺服器; 一IR监测系统,用以藉由上述通讯网路自上述资料 伺服器取得上述气体成份资讯;以及 一制程尾气管理系统,用以藉由上述通讯网路自上 述IR监测系统取得上述气体成份资讯以进行泄漏 来源之分析处理与判断。 2.如申请专利范围第1项所述的制程气体泄漏源侦 测系统,其更包括一资料库管理与气体浓度查询系 统,用以查询上述资料伺服器中之上述气体成份资 讯。 3.如申请专利范围第1项所述的制程气体泄漏源侦 测系统,其中,当上述IR监测系统侦测到气体浓度超 过一临界値时即发出警报,并且自动启动上述制程 尾气管理系统。 4.如申请专利范围第1项所述的制程气体泄漏源侦 测系统,其中,每当上述资料伺服器取得侦测所得 之气体成份资讯时,上述IR监测系统即进行即时更 新。 5.如申请专利范围第1项所述的制程气体泄漏源侦 测系统,其中,上述多采样孔与抽气式FTIR侦测系统 经由其中一管线取得上述管线所在区域之气体成 份资讯并进行分析处理。 6.一种制程气体泄漏源侦测方法,其适用于一制造 厂之制程控制,包括下列步骤: 提供一开放光径式FTIR侦测系统、一多采样孔与抽 气式FTIR侦测系统、一IR监测系统、一制程尾气管 理系统、一资料库管理与气体浓度查询系统以及 一资料伺服器,其中上述开放光径式FTIR侦测系统 设置于上述制造厂之回风处; 利用上述开放光径式FTIR侦测系统并藉由一通讯网 路,将侦测所得之气体成份资讯传送至上述资料伺 服器; 利用上述多采样孔与抽气式FTIR侦测系统并藉由上 述通讯网路,将利用设置于上述制造厂内之不同区 域的管线侦测所得之气体成份资讯传送至上述资 料伺服器; 利用上述IR监测系统并藉由上述通讯网路自上述 资料伺服器取得上述气体成份资讯;以及 利用上述制程尾气管理系统并藉由上述通讯网路 自上述IR监测系统取得上述气体成份资讯以进行 泄漏来源之分析处理与判断。 7.如申请专利范围第6项所述的制程气体泄漏源侦 测方法,其更包括利用一资料库管理与气体浓度查 询系统并藉由上述通讯网路,查询上述资料伺服器 中之上述气体成份资讯。 8.如申请专利范围第6项所述的制程气体泄漏源侦 测方法,其更包括当上述IR监测系统侦测到气体浓 度超过一临界値时即发出警报,并且自动启动上述 制程尾气管理系统。 9.如申请专利范围第6项所述的制程气体泄漏源侦 测方法,其更包括每当上述资料伺服器取得侦测所 得之气体成份资讯时,上述IR监测系统即进行即时 更新。 10.如申请专利范围第6项所述的制程气体泄漏源侦 测方法,其更包括利用上述多采样孔与抽气式FTIR 侦测系统,并经由其中一管线取得上述管线所在区 域之气体成份资讯并进行分析处理。 图式简单说明: 第1图系显示本发明实施例之光学式气体泄漏源侦 测系统的架构示意图。 第2图系显示本发明实施例之制程气体泄漏源侦测 方法的步骤流程图。 |
