干涉设备、方法和探头

摘要

一种用于执行傅里叶域光学相干层析成像的光学干涉设备包括提供多个光束的装置，由此同时记录待检查物质内多个不同焦深的干涉图，每一个干涉图由多个光束之一提供。提供用于将从多个不同焦深的干涉图得出的图像组合起来的装置，由此可以构造具有增大的景深的单一图像。计算焦点的轴向间隔，以便考虑待检查的物质中焦点腰的瑞利范围。

主权项

1.一种用于执行傅里叶域光学相干层析成像的光学干涉设备，所述设备包括提供多个光束的装置，由此同时记录待检查物质内多个不同焦深的干涉图，每一个干涉图由所述多个光束之一提供。