发明名称 MAGNETICALLY ENHANCED PLASMA SOURCE HAVING CROSS ARRANGED EXTERNAL FERRITE CORE
摘要
申请公布号 KR100798350(B1) 申请公布日期 2008.01.28
申请号 KR20060006199 申请日期 2006.01.20
申请人 发明人
分类号 H05H1/24 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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