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经营范围
发明名称
SUBSTRATE PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号
KR100798437(B1)
申请公布日期
2008.01.28
申请号
KR20027010014
申请日期
2002.08.02
申请人
发明人
分类号
H01L21/288;(IPC1-7):H01L21/288
主分类号
H01L21/288
代理机构
代理人
主权项
地址
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