溅射离子泵的供电电源及电源驱动方法

摘要

本发明涉及一种给特殊负载供电的方法，确切讲本发明是一种给用于抽取高真空的溅射离子泵供电的方法。本发明的方法是采用采用一台输出功率和其最大输出电流至少等于单台溅射离子泵最大工作功率和最大启动电流的电源，由这一台电源向至少两台并联的溅射离子泵供电。依本发明的方法对现有溅射离子泵电源进行改造形成相应的电源。

主权项

1.溅射离子泵的电源驱动方法，其特征在于采用一台输出功率和其最大输出电流至少等于单台溅射离子泵最大工作功率和最大启动电流的电源，使该电源并联向至少两台溅射离子泵供电，与电源并联连接的各溅射离子泵的输入支路上设置限流电阻，限流电阻的阻值为R≥E/Imax，其中R为限流电阻，E为电源的输出电压，Imax为电源的最大输出电流。