APPARATUS FOR HOMOGENIZING LIGHT AND LASER APPARATUS FOR PRODUCING A LINEAR INTENSITY DISTRIBUTION IN A WORK PLANE

摘要

Vorrichtung zur Homogenisierung von Licht, umfassend ein Linsenarray (5, 7, 8) mit einer Mehrzahl von Linsen (6, 9, 10), durch die das zu homogenisierende Licht hindurch treten kann, wobei mindestens zwei unterschiedliche Mittenabstände der Linsen (6, 9, 10) des Linsenarrays (5, 7, 8) vorgesehen sind, und wobei die Mittenabstände der Linsen (6, 9, 10) von innen nach außen abnehmen oder zunehmen. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Laservorrichtung zur Erzeugung einer linienförmigen Intensitätsverteilung in einer Arbeitsebene mit einer derartigen Vorrichtung zur Homogenisierung von Licht.