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发明名称 PLASMA PROCESSOR WITH COIL HAVING VARIABLE RF COUPLING
摘要
申请公布号 KR100794539(B1) 申请公布日期 2008.01.17
申请号 KR20077004983 申请日期 2007.02.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/3065;H05H1/30 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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