磁碟基板用之研磨液组成物

摘要

本发明之磁碟基板用研磨液组成物系含有水、二氧化矽粒子、以及选自酸、酸之盐及氧化剂中至少一者，且上述二氧化矽粒子之以藉由穿透式电子显微镜观察而测得之该二氧化矽粒子之最大径作为直径所得之圆面积除以该二氧化矽粒子的投影面积后乘以100之值，位于100～130之范围内。