| 发明名称 |
适合作为酸产生剂之盐及含该盐之化学放大正型光阻组成物 |
| 摘要 |
本发明提供一种下式（I）所示之盐：其中X表示n-价连结基，Y1及Y2各自独立表示氟原子或C1至C6全氟烷基，n表示2或3，而且A+表示有机相反离子。本发明进一步提供一种包含上述式（I）所示的盐之化学放大光阻组成物。 |
| 申请公布号 |
TW200804985 |
申请公布日期 |
2008.01.16 |
| 申请号 |
TW096119073 |
申请日期 |
2007.05.29 |
| 申请人 |
住友化学股份有限公司 |
发明人 |
原田由香子;吉田勋;山口训史 |
| 分类号 |
G03F7/039(2006.01);C07C309/17(2006.01);C07C303/22(2006.01);C07C381/12(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/039(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄;陈昭诚 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
