| 主权项 |
1.一种微机械双端自由梁式滤波器,系包括一基材, 以及设于该基材上之电极组及共振单元,其特征在 于:该共振单元为一双端自由梁式共振构造,其包 括二共振梁、数支撑梁以及至少一耦合梁,该二共 振梁分别悬设于该电极组之二电极上方,该二共振 梁外侧边连接相对应数量之支撑梁,并以该些支撑 梁外端部向下转折连接至该基材位于电极组外围 之固定点上,该耦合梁连接于该二共振梁间,且位 于该共振梁振动模态之节点处。 2.如申请专利范围第1项所述之微机械双端自由梁 式滤波器,其中,该共振单元具有一耦合梁,分别连 接于该二共振梁可产生第一振动模态之二个不同 节点之任一节点上。 3.如申请专利范围第1项所述之微机械双端自由梁 式滤波器,其中,该共振单元具有二耦合梁,分别连 接于该二共振梁可产生第一振动模态之二个不同 节点上。 4.如申请专利范围第1项所述之微机械双端自由梁 式滤波器,其中,该共振单元具有一耦合梁,分别连 接于该二共振梁可产生第二振动模态之三个不同 节点之任一节点上。 5.如申请专利范围第1项所述之微机械双端自由梁 式滤波器,其中,该共振单元具有二耦合梁,分别连 接于该二共振梁可产生第二振动模态之三个不同 节点之任二不同节点上。 6.如申请专利范围第1项所述之微机械双端自由梁 式滤波器,其中,该共振单元具有三耦合梁,分别连 接于该二共振梁可产生之第二振动模态之三个不 同节点上。 7.如申请专利范围第1至6项之任一项所述之微机械 双端自由梁式滤波器,其中,该共振单元于该二共 振梁外侧各接设数支撑梁,以该些支撑梁外端部连 接至基材之固定点上。 8.如申请专利范围第7项所述之微机械双端自由梁 式滤波器,其中,该数支撑梁连接该二共振梁之部 份位于该二共振梁振动模态之节点处。 图式简单说明: 第一图系本发明微机械双端自由梁式滤波器之一 较佳实施例之立体示意图。 第二图系本发明微机械双端自由梁式滤波器之另 一较佳实施例之立体示意图。 第三、四图系第一图所示双端自由梁式滤波器较 佳实施例中之共振单元于同相及反相共振状态时 之立体示意图。 第五图系第二图所示双端自由梁式滤波器较佳实 施例中之共振单元于同相共振状态时之立体示意 图。 第六图系先前既有微机械双端固定梁式滤波器之 立体示意图。 |
