| 发明名称 | 固定待抛光元件的吸附性垫片和其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种固定一待抛光元件的吸附性垫片，其包括一底材、一表层和一微凹凸层。所述底材具有一表面。所述表层位于所述底材的表面上，所述表层的内部无孔洞结构，所述表层具有一表面。所述微凹凸层位于所述表层的表面上，用以承载且固定所述待抛光元件，所述微凹凸层的内部无孔洞结构。藉此，当所述待抛光元件与所述微凹凸层接触时，其间的空气可以经由所述微凹凸层顺利排出，而不会产生包空气的现象，可提高所述待抛光元件与所述吸附性垫片间的吸附力。 | ||
| 申请公布号 | CN101100043A | 申请公布日期 | 2008.01.09 |
| 申请号 | CN200610090173.2 | 申请日期 | 2006.07.03 |
| 申请人 | 三芳化学工业股份有限公司 | 发明人 | 冯崇智;姚伊蓬;赵征祥 |
| 分类号 | B24B29/02(2006.01) | 主分类号 | B24B29/02(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 刘国伟;王允方 |
| 主权项 | 1.一种固定一待抛光元件的吸附性垫片，包括：一底材，具有一表面；一表层，位于所述底材的表面上，所述表层的内部无孔洞结构，所述表层具有一表面；和一微凹凸层，位于所述表层的表面上，用以承载且固定所述待抛光元件，所述微凹凸层的内部无孔洞结构。 | ||
| 地址 | 中国台湾高雄市 | ||