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发明名称 PROTECTIVE OVERCOAT FOR REPLICATED DIFFRACTION GRATINGS
摘要
申请公布号 EP1340106(B1) 申请公布日期 2008.01.09
申请号 EP20010987291 申请日期 2001.11.07
申请人 CYMER, INC. 发明人 PAN, XIAOJIANG, J.;MORTON, RICHARD, G.;ERSHOV, ALEXANDER, I.
分类号 G02B5/18;G02B5/26;C03C17/38;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/22;C23C14/24;C23C14/58;G02B1/10;G02B5/28;G03F7/20;H01S3/08 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
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