| 发明名称 | 一种用于直拉单晶硅制备中的掺杂装置 | ||
| 摘要 | 一种用于直拉单晶硅制备中的掺杂装置，它包括装置主体，一个置于主体内的石英材质的掺杂工具，所述的装置主体包括：真空波纹管，移动挡板，真空波纹管的一端与移动挡板连接，形成密封，挡板套在金属丝杆上，金属丝杆连接手柄，移动挡板与导柱配合，真空波纹管的另一端与底板连接；所述的掺杂工具接在位于移动挡板内侧的卡套内。该装置结构紧凑，操作方便，不需要隔离上下炉室和重装籽晶。 | ||
| 申请公布号 | CN201003079Y | 申请公布日期 | 2008.01.09 |
| 申请号 | CN200620134195.X | 申请日期 | 2006.10.30 |
| 申请人 | 北京有色金属研究总院 | 发明人 | 方峰;郑沉;王来福;安国祥;孙韶辉 |
| 分类号 | C30B15/04(2006.01) | 主分类号 | C30B15/04(2006.01) |
| 代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郭佩兰 |
| 主权项 | 1、一种用于直拉单晶硅制备中的掺杂装置，其特征在于：它包括装置主体，一个置于主体内的石英材质的掺杂工具，所述的装置主体包括：真空波纹管，移动挡板，真空波纹管的一端与移动档板连接，形成密封，档板套在金属丝杆上，金属丝杆连接手柄，移动档板与导柱配合，真空波纹管的另一端与底板连接；所述的掺杂工具接在位于移动档板内侧的卡套内。 | ||
| 地址 | 100088北京市新街口外大街2号 | ||