发明名称 |
硬质膜和制备该硬质膜的方法 |
摘要 |
本发明公开的是一种硬质膜和用于制备所述硬质膜的方法,其中所述硬质膜在耐磨性方面是显著优异的,并且即使在由于摩擦生热趋向于出现剧烈发热的环境下,也具有优异的抗氧化性,因此与包括TiAlN、TiCrAlN、TiCrAlSiBN、CrAlSiBN或NbCrAlSiBN的普通硬质膜相比,具有优异的性能。所述硬质膜包含(M)<SUB>a</SUB>Cr<SUB>b</SUB>Al<SUB>c</SUB>Si<SUB>d</SUB>B<SUB>e</SUB>Y<SUB>f</SUB>Z(而M是选自周期表中的IVB族元素、VB族元素和VIB族元素(除Cr以外)中的至少一种元素,并且Z表示N、CN、NO和CNO中的一种),其中a+b+c+d+e+f=1,并且0<a≤0.3,0.05≤b≤0.4,0.4≤c≤0.8,0≤d≤0.2,0≤e≤0.2且0.01≤f≤0.1(a、b、c、d、e和f分别表示M、Cr、Al、Si、B和Y的原子比)。 |
申请公布号 |
CN101096747A |
申请公布日期 |
2008.01.02 |
申请号 |
CN200710126306.1 |
申请日期 |
2007.06.29 |
申请人 |
株式会社神户制钢所 |
发明人 |
山本兼司;格尔曼·福克斯-拉比诺维奇 |
分类号 |
C23C14/06(2006.01);C23C14/32(2006.01);B23B27/14(2006.01);B23B51/00(2006.01);B21J13/00(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/06(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
陈平 |
主权项 |
1.一种具有优异抗氧化性的硬质膜,其包含:(M)aCrbAlcSidBeYfZ(而M是选自周期表中的IVB族元素、VB族元素和VIB族元素(除Cr以外)中的至少一种元素,并且Z表示N、CN、NO和CNO中的一种),其中a+b+c+d+e+f=1,并且0<a≤0.3,0.05≤b≤0.4,0.4≤c≤0.8,0≤d≤0.2,0≤e≤0.2且0.01≤f≤0.1,(a、b、c、d、e和f分别表示M、Cr、Al、Si、B和Y的原子比)。 |
地址 |
日本兵库县 |