发明名称 |
一种用于玻璃材料的抛光液及其制备方法 |
摘要 |
一种用于玻璃材料的抛光液,由磨料、表面活性剂、pH值调节剂和去离子水组成,各种成分所占的重量百分比为:磨料10~50%;表面活性剂0.01~0.6%;pH值调节剂1~6%;去离子水为余量;抛光液pH值范围为11~12,粒径为50nm~200nm。所述抛光液的制备方法是:首先将制备抛光液的各种组分分别进行过滤净化处理,然后在千级净化室的环境内,将各种组分在真空负压的动力下,通过质量流量计输入容器罐中并充分搅拌,混合均匀即可。本发明的优点是:抛光液是碱性,不腐蚀污染设备;玻璃材料抛光速率快,平整性好;工艺简单,成本低。 |
申请公布号 |
CN101096571A |
申请公布日期 |
2008.01.02 |
申请号 |
CN200610014590.9 |
申请日期 |
2006.06.30 |
申请人 |
天津晶岭电子材料科技有限公司 |
发明人 |
仲跻和;刘玉岭 |
分类号 |
C09G1/02(2006.01);B24B9/08(2006.01) |
主分类号 |
C09G1/02(2006.01) |
代理机构 |
国嘉律师事务所 |
代理人 |
卢枫 |
主权项 |
1.一种用于玻璃材料的抛光液,其特征在于:由磨料、表面活性剂、PH值调节剂和去离子水组成,各种成分所占的重量百分比为:磨料10~50%;表面活性剂0.01~0.6%;PH值调节剂1~6%;去离子水为余量;抛光液PH值范围为11~12,粒径为15nm~100nm。 |
地址 |
300385天津市天津开发区微电子工业区中晓园2-B号 |