发明名称 一种用于玻璃材料的抛光液及其制备方法
摘要 一种用于玻璃材料的抛光液,由磨料、表面活性剂、pH值调节剂和去离子水组成,各种成分所占的重量百分比为:磨料10~50%;表面活性剂0.01~0.6%;pH值调节剂1~6%;去离子水为余量;抛光液pH值范围为11~12,粒径为50nm~200nm。所述抛光液的制备方法是:首先将制备抛光液的各种组分分别进行过滤净化处理,然后在千级净化室的环境内,将各种组分在真空负压的动力下,通过质量流量计输入容器罐中并充分搅拌,混合均匀即可。本发明的优点是:抛光液是碱性,不腐蚀污染设备;玻璃材料抛光速率快,平整性好;工艺简单,成本低。
申请公布号 CN101096571A 申请公布日期 2008.01.02
申请号 CN200610014590.9 申请日期 2006.06.30
申请人 天津晶岭电子材料科技有限公司 发明人 仲跻和;刘玉岭
分类号 C09G1/02(2006.01);B24B9/08(2006.01) 主分类号 C09G1/02(2006.01)
代理机构 国嘉律师事务所 代理人 卢枫
主权项 1.一种用于玻璃材料的抛光液,其特征在于:由磨料、表面活性剂、PH值调节剂和去离子水组成,各种成分所占的重量百分比为:磨料10~50%;表面活性剂0.01~0.6%;PH值调节剂1~6%;去离子水为余量;抛光液PH值范围为11~12,粒径为15nm~100nm。
地址 300385天津市天津开发区微电子工业区中晓园2-B号
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