使用CDO反应室来使全氟化物减量之方法及设备METHODS AND APPARATUS FOR PFC ABATEMENT USING A CDO CHAMBER

摘要

于部分实施态样中，系提供使一废气流中的全氟化物（PFCs）减量之系统，该系统包括：（1）一湿式洗涤器，系适以洗涤一之废气流，并具有一适以将一经洗涤之废气流排出之出口；以及（2）一控制式分解氧化（CDO）系统。该 CDO 系统包括一 CDO 热反应室，该反应室又包括：（a）耦接至湿式洗涤器之出口的一入口；（b）适以使 CDO 热反应室中的 PFCs 减量之一催化剂床；以及（c）一出口。本发明并提供数个其他实施态样。