| 发明名称 | 具有内圆角半径接头的设备 | ||
| 摘要 | 一种晶片固定设备，该设备包括多个棒，这些棒在相对的端部通过接头与端板相连，所述接头包括具有内圆角半径的凸缘。所述连接设备的组成部件的接头提供了稳定的晶片固定设备，该设备可以用来进行人工操作，还可耐受半导体晶片处理室的严酷的处理条件。 | ||
| 申请公布号 | CN101090084A | 申请公布日期 | 2007.12.19 |
| 申请号 | CN200710109640.6 | 申请日期 | 2007.06.04 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | M·A·皮克林;J·S·戈尔拉;J·L·特里巴;T·佩恩 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01);F16B19/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/673(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 沙永生 |
| 主权项 | 1.一种设备，其包括多个棒，这些棒通过接头在相对的端部固定于相应的端板，所述接头包括具有内圆角半径的凸缘。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||