利用直流辉光等离子体化学气相沉积系统制备氧化锌薄膜的工艺

摘要

本发明公开了一种利用直流辉光等离子体化学气相沉积系统制备氧化锌薄膜的工艺，它是将单晶硅或蓝宝石基片置于石英反应腔的底部的位置，经抽真空、加热石墨台上的单晶硅或蓝宝石基片、用氢气和氮气清洗单晶硅或蓝宝石基片后，再通入二氧化碳、氢气和氮气载气，开启装有二乙基锌或二甲基锌有机源钢瓶的手动阀，待反应气体进入石英反应腔后，在两极间加直流高压，产生辉光，调节气体的压强、浓度、电极电压，使二氧化碳和氢气在等离子体的作用下充分反应，产生氧源，二乙基锌或二甲基锌在基片上热裂解，产生锌源，沉积半小时，这样在基片上得到高度择优取向、质量稳定的氧化锌薄膜。

主权项

1、利用直流辉光等离子体化学气相沉积系统制备氧化锌薄膜的工艺，其特征在于：将清洗和预处理好的单晶硅或蓝宝石基片(26)置于石英反应腔(35)的底部的中央位置，待真空室抽至1×10-3Pa后，高频加热器(24)通电后加热石墨台(21)，加热单晶硅或蓝宝石基片(26)至450-550℃，用氢气和氮气清洗单晶硅或蓝宝石基片5min后，按1∶0.5-1.5的气流比例通入二氧化碳和氢气，通入大流量氮气载气，氮气与二氧化碳流量比例为5∶1-0.5，开小流量的氮气，缓慢开启装有二乙基锌或二甲基锌有机源钢瓶(9)的手动阀(8)、(12)，待反应气体进入石英反应腔(35)后，在两极间加直流高压，产生辉光，调节气体的压强、浓度、电极电压，使二氧化碳和氢气在等离子体的作用下充分反应，产生氧源，二乙基锌或二甲基锌在基片(26)上热裂解，产生锌源，沉积半小时，这样在基片(26)上得到高度择优取向的氧化锌薄膜。