微影装置及元件制造方法

摘要

本发明揭示一种包含一位移测量系统之微影装置，该位移测量系统在中心于一可移动物件之中心的一正交x-y-z座标系统的至少三共面自由度(x、y、Rz)中，测量该可移动物件相对于该微影装置之一参考框架的位置。该可移动物件包括一支撑结构，其系配置成用以支撑一图案化元件；或一基板台，其系配置成用以支撑一基板。该位移测量系统包括至少三感测器头，各感测器头系以实质上与座标系统之x-y平面共面的一测量方向定位，且各感测器头系进一步以实质上垂直于一连接线之测量方向定位，该连接线连接该感测器头与该可移动物件之中心，且与x-y平面共面地延伸。