铈系研磨剂之再生方法

摘要

本发明系藉由实施如下步骤而再生铈系研磨剂：将使用过的铈系研磨剂用水进行再分散，制成浆料，用酸处理该再分散浆料，将得到的酸处理浆料进行固液分离，将得到的滤饼乾燥、粉碎，或者较佳为将该乾燥滤饼进行烧、粉碎。其中，作为酸，可以单独或并用盐酸、硫酸、硝酸、氢氟酸中的二种以上。如此，可以将研磨速度大幅降低且通常被废弃的铈系研磨剂再生。