DISPOSITIF ET PROCEDE DE MESURE DE CARACTERISATION PAR REFLECTOMETRIE

摘要

L'invention concerne un dispositif et un procédé de mesure de caractérisation par réflectométrie. Ce dispositif comprend des moyens de focalisation et de contrôle d'un faisceau lumineux incident de manière à focaliser celui-ci sur une surface réfléchissante à mesurer sous la forme d'un spot et à imager celui-ci sur un détecteur, des moyens de commande et d'acquisition, et des moyens pour imager ce spot sur ce détecteur et sur une caméra reliée aux moyens de commande et d'acquisition de manière à réaliser une mise au point automatique de l'image sur la surface réfléchissante à mesurer et à conjuguer la surface réfléchissante à mesurer avec la surface du détecteur.