Vorrichtung zum Ändern des Abstandes zwischen Lichtstrahlachsen und Substratbelichtungsvorrichtung

摘要

Ein paralleles Glas, das Prisma mit einem parallelogrammförmigen Querschnitt in einer x-y-Richtung ist, und parallele Gläser, die Prismen mit einem parallelogrammförmigen Querschnitt in der x-y-Richtung sind und jeweils Nuten umfassen, die in einer Oberfläche in einer z-Richtung senkrecht zur x-y-Richtung ausgebildet sind, sind in direktem Kontakt miteinander gestapelt, so dass die Nuten auf der Innenseite liegen, und Licht, das verursacht, in die Nuten zu gelangen, wird einer Totalreflexion unterzogen, wodurch einfallende parallele Strahlen mit einem Abstand von 13 mm in austretende parallele Strahlen mit einem Abstand von 1 mm geändert werden.