| 发明名称 | 金属碳化物/类金刚石(MeC/DLC)纳米多层膜材料及其制备方法 | ||
| 摘要 | 一种金属碳化物/类金刚石(MeC/DLC)纳米多层膜材料及其制备方法。纳米多层膜材料依次由基材(1)、过渡层I和纳米多层膜层II构成，过渡层I由金属层(2)、金属氮化物层(3)、金属碳氮化物层(4)构成，纳米多层膜层II由交替的金属碳化物层(5)和类金刚石层(6)构成。其制备方法：采用Ti、Cr、Zr或W靶，依次轰击清洗基材；沉积金属层；金属氮化物层；金属碳氮化物层；交替沉积金属碳化物/类金刚石纳米层。本发明提供的MeC/DLC纳米多层膜材料的显微硬度较高，达到HV2000～4500，摩擦系数低至0.05～0.25，附着力≥60N。且易于低温及大面积(D600mm×600mm)制备，具有生产效率高，成本低等优点。可显著改善金属材质工模具、零部件的表面性能，提高其使用寿命及加工精度。 | ||
| 申请公布号 | CN101081557A | 申请公布日期 | 2007.12.05 |
| 申请号 | CN200710028834.3 | 申请日期 | 2007.06.26 |
| 申请人 | 广州有色金属研究院 | 发明人 | 林松盛;代明江;李洪武;朱霞高;侯惠君;林凯生 |
| 分类号 | B32B33/00(2006.01);C23C14/06(2006.01);C23C14/02(2006.01);C23C14/35(2006.01);C23C14/48(2006.01) | 主分类号 | B32B33/00(2006.01) |
| 代理机构 | 广东世纪专利事务所 | 代理人 | 千知化 |
| 主权项 | 1、一种金属碳化物/类金刚石纳米多层膜材料，其特征是依此由基材(1)、过渡层I和纳米多层膜层II构成，过渡层I由金属层(2)、金属氮化物层(3)、金属碳氮化物层(4)构成，纳米多层膜层II由交替的金属碳化物层(5)和类金刚石层(6)构成。 | ||
| 地址 | 510651广东省广州市天河区长兴路363号 | ||