| 发明名称 | 用于硅单晶炉的坩埚轴传动部件 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于硅单晶炉的坩埚轴传动部件，它用装在下传动导轨柱上的两组滚动导轨及4个滑块连接滑板，使坩埚轴做升降运动；它用装在部件底部的三组锲铁组件调整坩埚轴旋转中心对炉底盘中心孔的同轴和对炉底盘上平面(水平面)的垂直。这种传动部件传动精度高，刚度好，坩埚轴旋转中心对炉底盘的相互位置精度高，调整简单，方便。 | ||
| 申请公布号 | CN200986390Y | 申请公布日期 | 2007.12.05 |
| 申请号 | CN200620116090.1 | 申请日期 | 2006.05.26 |
| 申请人 | 北京京仪世纪自动化设备有限公司 | 发明人 | 李润源;周世增 |
| 分类号 | F27B14/10(2006.01) | 主分类号 | F27B14/10(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 1.一种用于硅单晶炉的坩埚轴传动部件，其特征在于：用2组滚动导轨副及4个滑块联结滑板，坩埚轴装在滑板上，部件底部装有3组锲铁组件。 | ||
| 地址 | 100079北京市丰台区永外宋家庄苇子坑2号 | ||