发明名称 |
探针卡 |
摘要 |
本实用新型公开了一种探针卡,包括用于与样品连接的两排探针,还包括用于与信号源连接的探针,在测试时,所述用于与信号源连接的探针和所述直接连接到内部的两排探针相连接。本实用新型使以往所有需要在信号源与探针卡之间同时进行换线的工作简化为只需要在探针卡上进行换线,其制造成本低、使用方便,适用于任何产品。 |
申请公布号 |
CN200986568Y |
申请公布日期 |
2007.12.05 |
申请号 |
CN200620046600.2 |
申请日期 |
2006.10.08 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
王俊杰;陈雷;陈荣堂;苏凤莲 |
分类号 |
G01R1/073(2006.01);G01R1/067(2006.01);G01R31/28(2006.01) |
主分类号 |
G01R1/073(2006.01) |
代理机构 |
上海浦一知识产权代理有限公司 |
代理人 |
王函 |
主权项 |
1、一种探针卡,包括用于与样品连接的两排探针a排、b排,a排位于探针卡左侧,b排位于探针卡右侧,其特征在于,还包括用于与信号源连接的探针;在测试时,所述用于与信号源连接的探针和a排、b排探针相连接。 |
地址 |
201203上海市浦东新区张江路18号 |