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经营范围
发明名称
Bedampfervorrichtung
摘要
申请公布号
DE502005001749(D1)
申请公布日期
2007.11.29
申请号
DE200550001749T
申请日期
2005.07.28
申请人
APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG
发明人
BENDER, MARCUS;HOFFMANN, UWE;KLEMM, GUENTER;HAAS, DIETER;ENGLERT, ULRICH
分类号
C23C14/24;C23C14/26
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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