发明名称 具有硅指状接触器的接触结构
摘要 一种用于与接触目标进行电连接的接触结构。这一接触结构由一个安装有多个接触器的接触衬底形成。每一个所述接触器由一个具有倾斜的端的硅基底、一个形成在所述硅基底上并且具有一个支持端和一个接触端的硅杆、以及一个形成在硅杆的顶表面上的导电层形成。接触端明显从硅基底伸出。把接触器安装在接触衬底上,以使可以通过一种粘合剂,把硅基底和支持端连接于接触衬底的表面,从而沿一个预先确定的对角线方向定向所述硅杆。
申请公布号 CN100350254C 申请公布日期 2007.11.21
申请号 CN03804177.4 申请日期 2003.02.19
申请人 株式会社爱德万测试 发明人 罗伯特·爱德华·阿尔达斯;西奥多·A·库利
分类号 G01R1/073(2006.01);G01R31/26(2006.01);H01L21/66(2006.01) 主分类号 G01R1/073(2006.01)
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 韩宏
主权项 1.一种用于建立与接触目标的电连接的接触结构,包括:多个接触器,每一个所述接触器包括:一个硅基底,在每一端具有一个倾斜的边,其角度依赖于硅衬底的一个晶面;一个硅杆,形成在所述硅基底上,并且具有一个支持端和一个接触端,所述接触端明显从硅基底伸出;以及一个导电层,形成在硅杆的顶表面上;一个接触衬底,用于在其一个表面上安装所述多个接触器;其中,把每一所述接触器安装在接触衬底上以使通过一种粘合剂,把所述硅基底和所述硅杆的所述支持端连接于所述接触衬底的表面,从而沿一个预先确定的对角线方向定向所述硅杆;以及其中,所述支持端和所述接触端中的每一个具有一个对角线边,其角度依赖于该晶面,而且所述支持端从硅基底略微伸出,以当把所述支持端安装在接触衬底上时,与接触衬底的表面相接触。
地址 日本东京
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