发明名称 | 设备、膜形成方法及设备的制造方法 | ||
摘要 | 提供一种防止在隔壁的附近产生的膜的偏斜,能形成均匀的膜的设备。本发明的设备具备:隔壁(B);在由所述隔壁(B)区划出的区域上设置的膜(F);在由所述隔壁(B)区划出的区域的外周部上设置的槽(D)。膜(F)通过在由隔壁(B)区划出的区域上配置液体材料(L)而形成,槽(D)的表面的一部分由膜F所覆盖。 | ||
申请公布号 | CN101076211A | 申请公布日期 | 2007.11.21 |
申请号 | CN200710104951.3 | 申请日期 | 2007.05.17 |
申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 三桥悦央;关俊一 |
分类号 | H05B33/14(2006.01);H05B33/12(2006.01);H05B33/10(2006.01);H05B33/22(2006.01) | 主分类号 | H05B33/14(2006.01) |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汪惠民 |
主权项 | 1、一种设备,具备:隔壁;膜,设置在由所述隔壁区划出的区域;和槽,设置在由所述隔壁区划出的区域的外周部。 | ||
地址 | 日本东京 |