发明名称 设备、膜形成方法及设备的制造方法
摘要 提供一种防止在隔壁的附近产生的膜的偏斜,能形成均匀的膜的设备。本发明的设备具备:隔壁(B);在由所述隔壁(B)区划出的区域上设置的膜(F);在由所述隔壁(B)区划出的区域的外周部上设置的槽(D)。膜(F)通过在由隔壁(B)区划出的区域上配置液体材料(L)而形成,槽(D)的表面的一部分由膜F所覆盖。
申请公布号 CN101076211A 申请公布日期 2007.11.21
申请号 CN200710104951.3 申请日期 2007.05.17
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 三桥悦央;关俊一
分类号 H05B33/14(2006.01);H05B33/12(2006.01);H05B33/10(2006.01);H05B33/22(2006.01) 主分类号 H05B33/14(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汪惠民
主权项 1、一种设备,具备:隔壁;膜,设置在由所述隔壁区划出的区域;和槽,设置在由所述隔壁区划出的区域的外周部。
地址 日本东京