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Es werden ein Verfahren und ein System zur Inspektion einer periodischen Struktur (1) durch einen optischen Bildaufnehmer mit einer Pixelstruktur (2) beschrieben, dessen aufgenommenes Bild (6) mit einem fehlerfreien Referenzbild (4) der periodischen Struktur (1) verglichen wird. Um die Fehler mit einfachen Mitteln zuverlässig erkennen zu können, wird in dem Referenzbild (4) an mindestens einer Position (X, Y) die Phasenlage (Phase X, Phase Y) der periodischen Struktur (1) zu der Pixelstruktur (2) des optischen Bildaufnehmers ermittelt. Das aufgenommene Bild (6) wird in Inspektionsbereiche (7) eingeteilt und für jeden Inspektionsbereich (7) wird die Phasenlage (Phase X, Phase Y) der periodischen Struktur (1) zu der Pixelstruktur (2) des optischen Bildaufnehmers ermittelt. Für den Vergleich eines Inspektionsbereichs (7) mit dem Referenzbild (4) wird dann ein Referenzbildbereich (8) ausgewählt, dessen Phasenlage (Phase X, Phase Y) mit dem Inspektionsbereich (7) korrespondiert.
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