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发明名称 Wafer-Reinigungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE60033811(T2) 申请公布日期 2007.11.15
申请号 DE20006033811T 申请日期 2000.09.08
申请人 QIMONDA DRESDEN GMBH & CO. OHG 发明人 TEICHGRAEBER, LUTZ;GLASHAUSER, WALTER
分类号 H01L21/00;H01L21/304;B08B1/04;B08B11/02 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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